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湖南幸运赛车胆拖:单元硅基单压电变形镜的设计与测试

2015-10-08|来自:宁波大学|发布:梦溪

湖南幸运赛车考试题 www.2nwzz.cn 针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试。首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响。然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支)。最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性。仿真与实验结果表明:致动器在50 V电压下变形量可达1 um,固支条件下谐振频率在l kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力。该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力。

相关标签:电变形镜,硅基变形镜,自适应光学,天文望远镜
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