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北京赛车免费冠军计划: 晶体线切割机设备购买论证

2015-01-29|来自:梦溪|发布:梦溪

湖南幸运赛车考试题 www.2nwzz.cn 晶体材料的加工中,切割是一道重要工序,其切割质量的好坏直接影响后续加工工序及最终加工质量。晶体的切割技术要求加工表面有好的面形精度、小的表面粗糙度;还要求切割过程中产生的损伤层尽可能浅。因为切割工序会留下几何误差,如:切口形状影响着硅片翘曲度、两面平行度和表面粗糙度,造成亚表面损伤等。如误差值太大,研磨工序很难消除,直接影响着下道工序的加工质量和成品率,切割工序中切口宽度也影响着材料的利用率。另外,晶体属于硬脆材料,加工过程中,切割往往是第一道工序,为了减少后续加工的工作量,晶体切割机的选型很重要。

 

晶体材料具有各向异性特性,不同方向上的材料的物理和机械性能差异很大,这必然会对加工过程产生影响。因而,不同的切割方式会对晶体材料产生不同的影响。切割加工技术有金刚石圆锯切割、电火花线切割和线锯切割。线锯切割根据锯丝的运动方式不同可以分为往复式和环形运动式;根据磨粒的切割机理不同又可分为游离磨料线锯切割和固结磨料(通常为金刚石)线锯切割。其中,固结金刚石线锯切割的样品表面存在大量的切割线痕,而游离磨料线切割技术较为成熟,是当前主流的晶体切割手段,切割的样品表面形貌极佳。

 

晶体材料的切割要求面形精度和表面粗糙度要好,损伤层要浅。具体到对游离磨料线锯切割设备的要求是锯丝直径要小。大多游离磨料线锯切割机的锯丝直径均为100微米以上,比如英国Logitech公司(250微米)和美国SOUTH BAY公司(215微米),波兰UNIPRESS的切割机的锯丝直径为40微米,可实现高表面质量的切割。另外,英美国家的线切割机价格较贵,例如英国Logitech公司线切割机需4.5万英镑。相对而言,发展中国家的波兰UNIPRESS的切割机较为便宜且性能稳定。因此国内研究机构例如复旦大学、中国空空导弹研究院、杭州师范大学等先后购置了该设备。国内线切割机设备制造商除了锯丝直径更大之外,切割张力控制和速度控制方面均比国外设备差。

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